皮秒激光在激光状态方程靶制备中的应用

• 作者: 傅思祖 叶君建 方智恒 舒桦 谢志勇 黄秀光
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 状态方程 靶 薄膜 皮秒激光
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 110-114
• 页数: 5页
• 分类号: V261.8|O532.13
• 字数: 1581字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB201426.022009

摘要

介绍了激光状态方程靶中金属薄膜台阶的切割方法.采用皮秒激光加工技术切割了宽度百μm量级的金属薄膜台阶,研究了金属薄膜台阶宽度控制的方法,讨论了切割过程中产生热效应的因素,优化了激光加工参数.实验加工中,采用加工的参数:功率为0.5W,脉宽10 ps,波长355 nm,扫描速率为100mm/s,获得了宽度400μm和120μm的金属薄膜.测量结果表明,金属薄膜的宽度能精确控制,切割后金属薄膜表面质量能保持切割前的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅思祖	中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所	10	50	4.0	7.0
2	黄秀光	中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所	7	36	2.0	6.0
3	叶君建	中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所	4	13	2.0	3.0
4	方智恒	中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所	5	8	2.0	2.0
5	谢志勇	中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所	2	2	1.0	1.0
6	舒桦	中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所	5	6	2.0	2.0