基于双稳态机制的低g值微加速度开关

• 作者: 于海鹏 慕昆
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度开关 低g值 MEMS 双稳态柔性梁
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 16-18,26
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 2077字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种包含双稳态机制的低g值加速度开关,并采用了MEMS中的多层微电铸技术进行加工.该微加速度开关具有体积小,响应阈值精确,响应速度快,具有闭合保持功能等优点.微加速度开关的结构包括双稳态柔性悬臂梁,可移动质量块和固定触点,其中双稳态柔性悬臂梁的宽度、厚度和长度分别是28.0μm、25.0 μm和5 150.0μm.由于使用了非线性双稳态机制,因此可以通过更加精确的模型来设计加速度开关的触发阈值.经过多次试验表明:器件的触发的加速度阈值是(32.6±0.2)g,可移动质量块的行程距离是530 μm,并且开关在闭合后具有保持功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于海鹏	河南工程学院计算机学院	29	128	6.0	10.0
2	慕昆	河南工程学院计算机学院	15	27	3.0	4.0