热压硫化锌的超精密磨削加工

• 作者: 姚光 赵清亮 郭兵 陈冰 饶志敏
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热压硫化锌透镜 压痕实验 临界切削深度 单颗粒刻划 平面磨削 亚表面损伤 表面质量
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 2109-2116
• 页数: 8页
• 分类号: TG580.6
• 字数: 4080字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142208.2109

摘要

针对用传统车削或研磨抛光方法加工大尺寸非球面热压硫化锌透镜存在的不足,采用金刚石砂轮磨削加工方法对热压硫化锌材料进行了加工实验.通过压痕、单颗粒金刚石刻划和磨削正交实验,研究了该方法在磨削加工过程中的塑性域去除机理及其亚表面损伤情况,并优化了超精密磨削加工工艺参数.压痕实验发现热压硫化锌材料在载荷作用下易于出现径向裂纹和微裂纹,其断裂韧性为2.643842 MPa/m1/2,临界切削深度为1.808 μm.单颗粒金刚石刻划实验结果表明,热压硫化锌材料在较小的切削深度下可以实现塑性域去除,但在机械去除过程中易出现多种形式的亚表层损伤.磨削实验结果表明,磨削深度是影响表面光洁度的主要因素,随着磨削深度的增大表面光洁度降低,最佳表面粗糙度为7.6 nm.工作台进给速度是影响面形精度的主要因素,且平面磨削的面形精度PV值为0.185～0.395 μm.研究结果表明,磨削加工热压硫化锌材料可以获得纳米级表面粗糙度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵清亮	哈尔滨工业大学机电工程学院	74	849	16.0	24.0
2	陈冰	哈尔滨工业大学机电工程学院	8	34	3.0	5.0
3	郭兵	哈尔滨工业大学机电工程学院	18	207	9.0	14.0
4	饶志敏	哈尔滨工业大学机电工程学院	2	11	2.0	2.0
5	姚光		1	9	1.0	1.0