孔深对射频空心阴极放电特性的影响

• 作者: 何锋 姜鑫先 欧阳吉庭 王春晓 陈强
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 空心阴极 射频放电 流体模型 孔深 放电机制 孔深孔径比
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 气体放电及其应用专题
• 页码范围: 3068-3072
• 页数: 5页
• 字数: 2256字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.2014.10.018

摘要

为了提高射频空心阴极放电中的等离子体密度,通过实验和数值模拟研究了氩气环境下孔深对射频空心阴极放电的影响.在实验上利用Langmuir探针测量了射频空心阴极放电等离子体的电子数密度,并对不同孔深条件下获得的电子数密度进行了比较.利用二维流体模型模拟了空心阴极结构下的射频放电,获得了电子数密度和电离速率的分布随孔深的变化规律.模拟结果表明:大的孔深可以增加孔内强电离区域的大小,并使等离子体密度增加,这一规律与实验结果相符;当孔深与孔径的比值大于3时,等离子体密度基本达到饱和.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈强	北京印刷学院等离子体物理及材料研究室	125	542	10.0	17.0
2	欧阳吉庭	北京理工大学物理学院	31	155	7.0	11.0
3	何锋	北京理工大学物理学院	13	37	4.0	5.0
4	姜鑫先	北京理工大学物理学院	1	4	1.0	1.0
5	王春晓	北京理工大学物理学院	3	9	2.0	3.0