光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析

• 作者: 冯鹏 唐锋 戴凤钊 李杰 王向朝
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 光栅横向剪切干涉 系统误差 Zernike多项式 光刻投影物镜
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 195-204
• 页数: 10页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0508006

摘要

在分析光栅横向剪切干涉仪典型结构及系统参数配置,给出其适用范围的基础上,系统研究了该干涉仪结构最显著的系统误差:几何光程误差和探测器倾斜误差.采用Zernike多项式给出波前重建前后系统误差项的解析表达式;对其大小与被测数值孔径(NA)、衍射光会聚点间距d、剪切率s之间的关系进行了定量分析.几何光程彗差和像散、探测器倾斜像散和离焦是剪切干涉差分波前中最主要的误差项,波前重建后主要导致几何光程球差和彗差,探测器倾斜彗差.重建波前误差随着NA、d的增加而迅速增大,随着s的减小而增大.特别是小剪切(s≤0.05)时,波前重建对系统误差有增益效应,重建波前的系统误差值远大于差分波前.小剪切情况下,当d＞2 μm、NA＞0.1时,重建波前误差的均方根值远大于1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	125	1027	17.0	27.0
2	王向朝	中国科学院上海光学精密机械研究所	170	1628	23.0	35.0
3	冯鹏	中国科学院上海光学精密机械研究所	11	83	5.0	9.0
4	唐锋	中国科学院上海光学精密机械研究所	19	47	4.0	6.0
5	戴凤钊	中国科学院上海光学精密机械研究所	4	0	0.0	0.0