EACVD 一体化系统衬底温度控制研究

• 作者: 刘利宏
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电子辅助热丝化学气相沉积 金刚石膜 模糊-线性控制器 衬底温度场
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 数控加工技术
• 页码范围: 114-117
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TP273+.4
• 字数: 3068字
• 语种: 中文

摘要

以电子辅助热丝化学气相沉积（Electron-assisted Chemical Vapor Deposition，EACVD）一体化系统为研究对象，根据金刚石沉积过程中对衬底温度的要求，设计了模糊PID衬底温度控制系统。使用结果表明：该系统对化学气相沉积（ CVD）金刚石的衬底温度参数控制精确，能够长时间稳定运行，可以制备出高质量的CVD金刚石涂层。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘利宏	淮安信息职业技术学院机电系	28	69	5.0	7.0