聚焦激光束焦点光斑尺寸与样品剥离阈值的同时测量

• 作者: 周奇 李润华 磨俊宇 陈钰琦
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 激光技术 测量 激光剥离 光斑尺寸 剥离阈值
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 189-193
• 页数: 5页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201441.0708003

摘要

当聚焦激光束在焦平面上的光强分布为高斯分布时,理论推导了激光能量与激光在样品表面所烧蚀的坑洞半径的关系.以铝箔、铝反射镜和热敏相纸为样品,用显微镜测量出不同能量的脉冲激光在样品表面烧蚀的坑洞半径并通过数值拟合来实现对聚焦激光束的焦点光斑尺寸和样品剥离阈值的同时测量.对于脉宽为15 ns、波长为532 nm的激光,测得铝和热敏相纸的剥离阈值分别为2.5 J/cm2和0.25 J/cm2.光斑尺寸和剥离阈值两个参量的测量误差均约为±10％.该技术能够同时且简便地测量出聚焦激光束焦点的光斑尺寸和样品的剥离阈值,对研究固体与激光相互作用以及评价激光束聚焦的特性有一定的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	磨俊宇		3	5	1.0	2.0
2	李润华		25	119	6.0	10.0
3	陈钰琦		19	56	4.0	7.0
4	周奇		4	13	3.0	3.0