拼接干涉仪在控制装校面形中的应用

• 作者: 刘长春 叶海仙 张亮 易聪之 曹庭分 熊召
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 子孔径拼接 象散 局部面形 装校监测 全口径面形
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 69-73
• 页数: 5页
• 分类号: TN248
• 字数: 2670字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.051014

摘要

通过对比大口径光学元件夹持不当时全口径与局部口径之间的图像关系,研究局部面形控制的新方式.并与高精度的大口径干涉仪进行比对测试,验证拼接干涉仪的测试精度.实验表明,拼接干涉仪局部测试精度可达50 nm(PV值),空间分辨力高达5 mm-1,可以实现中频段的装校监控.使用拼接干涉仪扫描测试全口径面形,测试不确定度小于100 nm,与φ600 mm的大口径干涉仪测试结果差别小于0.04λ(波长λ=632.8 nm).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊召	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	25	76	5.0	6.0
2	曹庭分	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	25	3.0	4.0
3	易聪之	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	4	1.0	2.0
4	刘长春	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	14	44	5.0	6.0
5	叶海仙	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	5	1	1.0	1.0
6	张亮	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	3	1	1.0	1.0