激光三角法厚度测量仪的设计与研究

• 作者: 刘江 刘玉森 唐清清 汪涛
• 来源期刊: 微型机与应用
• 学科: 工学
• 关键词: PSD 激光三角法 厚度测量仪 运放电路 标定测量法
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 页码范围: 16-19
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2874字
• 语种: 中文

摘要

设计了一套精度高、稳定性好的基于 PSD 的激光三角法厚度测量仪，介绍了系统的软硬件设计。其中 PSD 运放电路设计的过程中主要解决了数/模信号干扰、环境光影响、电源滤波、放大倍数可调等关键问题。最后，采用标定测量法，对处于不同位置处的同一被测物厚度进行反复测量。相对精度达到了1%，且稳定性好。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪涛	重庆大学物理学院	53	266	9.0	12.0
2	刘江	重庆大学物理学院	21	256	8.0	15.0
3	唐清清	重庆大学物理学院	2	15	2.0	2.0
4	刘玉森	重庆大学物理学院	2	8	2.0	2.0