基于有限元的超声聚焦悬浮振子设计研究

• 作者: 吴路路 殷国平 殷振 王广勋
• 来源期刊: 甘肃科技纵横
• 关键词: 硅晶片 超声振动 聚焦悬浮 非接触
• 年，卷（期）: 2014,（8）
• 所属期刊栏目: 工业科技
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 字数: 857字
• 语种: 中文

摘要

针对精密硅晶片在传统夹持与运送过程中存在的问题,提出了基于超声聚焦悬浮的非接触夹持方式.利用纵弯复合振动原理及自聚焦原理设计了纵弯复合超声聚焦悬浮振子,基于有限元分析方法对其进行了结构动力学仿真分析,并对超声聚焦悬浮振子样机进行了阻抗和振动测试实验研究,为实现硅晶片的非接触超声聚焦悬浮操纵和安全运送奠定了研究基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷振	苏州科技学院机械工程学院	57	156	7.0	9.0
2	王广勋	苏州科技学院机械工程学院	17	38	4.0	4.0
3	殷国平	苏州科技学院机械工程学院	1	1	1.0	1.0
4	吴路路	苏州科技学院机械工程学院	1	1	1.0	1.0