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SPC技术在半导体硅片制造中的应用
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摘要：
文章对SPC基本知识进行简单描述,并根据半导体硅片制造工艺的复杂性,重点论述了半导体硅片制造厂的SPC技术应用与传统行业的不同之处。
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文献信息
| 篇名 | SPC技术在半导体硅片制造中的应用 | ||
| 来源期刊 | 企业技术开发 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | SPC 过程控制 半导体 控制图 | ||
| 年，卷（期） | qyjskfb_2014,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 51-52 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN305 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
SPC
过程控制
半导体
控制图
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期刊影响力
企业技术开发
主办单位：
湖南省科学技术信息研究所
出版周期：
月刊
ISSN：
1006-8937
CN：
43-1172/TB
开本：
大16开
出版地：
湖南省长沙市八一路59号
邮发代号：
42-60
创刊时间：
1982
语种：
chi
出版文献量（篇）
12143
总下载数（次）
2
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