半导体芯片PCM测试技术的应用研究

• 作者: 俞凯旋 都二华 金红杰
• 来源期刊: 微电子学与计算机
• 关键词: 半导体制造 PCM测试机 测试精度 测试效率
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 页码范围: 166-170,174
• 页数: 6页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文

摘要

PCM(Progress Control and Moonitor)工艺过程监控,是半导体制造过程中的一个重要的环节.它主要是对制造过程中的集成电路或者器件芯片的电参数进行测量,反映出产品在制作过程中是否符合工艺要求以及存在哪些质量问题.文中简要分析了PCM测试系统的结构,重点探讨了PCM测试系统应用中保证测试精度和提高测试效率的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金红杰		4	6	1.0	2.0
2	都二华		1	1	1.0	1.0
3	俞凯旋		1	1	1.0	1.0