倾角传感器的温度补偿研究

• 作者: 于娜 刘志远 赵佳龙
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 倾角传感器 加速度 温度补偿
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2342字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2014)10-0014-03

摘要

半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度.介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿.经过试验验证结果表明:这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿,在-55～ 85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级,有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵佳龙	中国电子科技集团公司第四十九研究所	4	46	4.0	4.0
2	刘志远	中国电子科技集团公司第四十九研究所	19	133	7.0	11.0
3	于娜	中国电子科技集团公司第四十九研究所	5	98	5.0	5.0