一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究

• 作者: 李全良 杨欢欢 王筠 谢建平
• 来源期刊: 应用化工
• 学科: 化学
• 关键词: 光致产酸剂 合成 光刻技术
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 1830-1832
• 页数: 3页
• 分类号: TQ594|O623
• 字数: 2308字
• 语种: 中文

摘要

以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料，合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯，并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征，研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明，该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性，并在248 nm处有好的透明性，可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李全良	周口师范学院化学化工学院	36	68	4.0	6.0
2	王筠	周口师范学院化学化工学院	45	85	5.0	6.0
3	谢建平	周口师范学院化学化工学院	32	97	6.0	8.0
4	杨欢欢	周口师范学院化学化工学院	3	4	1.0	1.0