SiO2/CH/Au复合黑腔诊断孔电火花加工技术

• 作者: 刘峰 宋成伟 张昭瑞 张海军 朱磊 李国 梅鲁生 谢军 黄燕华
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: SiO2/CH/Au 黑腔 诊断孔 电火花加工 惯性约束聚变
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TG66
• 字数: 2938字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.112002

摘要

通过电火花加工技术,采用含碳较高的煤油作为电介质,利用导电性能及加工性能较好的紫铜作电极材料,实现了SiO2/CH/Au复合黑腔侧表面方形诊断孔的精密加工.采用OLYMPUS STM6测量显微镜对诊断孔尺寸,结果表明:孔的尺寸加工精度可控制在士10 μm内,同一电极加工的诊断孔尺寸一致性可控制在±5 μm内.采用扫描电镜能谱分析SiO2/CH/Au加工导电层的成分,结果表明:电火花加工过程中,由于电介质分解生成游离态的碳以及电极材料铜熔融后沉积在CH和SiO2层表面,形成辅助导电层.通过加工辅助导电层,产生的瞬时高温使SiO2和CH层熔融气化,从而实现对绝缘层的加工.