一种校正相位测量轮廓术量化误差的算法

• 作者: 刘凯 吴炜 赵静 郑晓军
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 相位测量轮廓术 量化 相位量化误差 误差校正 相邻像素点
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TN911.74
• 字数: 3467字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201426.111005

摘要

为了减小相位测量轮廓术中因数字化设备内部结构的量化处理过程引起的相位量化误差,提高相位测量精度.针对相位测量精度要求较高且表面凹凸变化不大的被扫描物体提出了一种能够有效校正相位测量轮廓术量化误差的算法,测量相位中的每一个像素点利用其相邻像素点进行校正.实验结果显示,校正之后,相位量化误差标准差减小了41.38％,相位测量的精度得到了提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵静	四川大学电气信息学院	58	268	8.0	13.0
2	吴炜	四川大学电子信息学院	82	916	17.0	25.0
3	刘凯	四川大学电气信息学院	109	453	10.0	18.0
4	郑晓军		5	13	2.0	3.0