显影单元腔室内流场结构分析与优化

• 作者: 卢继奎 尹宁 胡延兵
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 温湿度控制器 FILTER CUP Down Flow
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 制造业信息化
• 页码范围: 131-133
• 页数: 3页
• 分类号: TP391.7
• 字数: 1516字
• 语种: 中文

摘要

匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成Down Flow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染.由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态.文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢继奎		2	4	1.0	2.0
2	尹宁		3	0	0.0	0.0
3	胡延兵		3	0	0.0	0.0