微波等离子体镀膜的研究进展

• 作者: 张海玲 杨秀凡 陈召松
• 来源期刊: 大科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 合成 沉积 表面改性 趋势
• 年，卷（期）: 2014,（22）
• 所属期刊栏目: 科技探索与应用
• 页码范围: 344-344,345
• 页数: 2页
• 分类号: TQ171.6
• 字数: 2586字
• 语种: 中文

摘要

简述了近年来微波等离子体在薄膜材料合成、薄膜沉积、表面改性等方面的研究现状，并简要分析了其发展趋势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海玲	安顺学院农学院	19	22	3.0	3.0
2	杨秀凡	安顺学院电子与信息工程学院	13	17	3.0	3.0
3	陈召松	安顺学院电子与信息工程学院	9	14	2.0	3.0