电沉积镍薄膜早期形核生长的计算机模拟

• 作者: 黄跃宇
• 来源期刊: 南华大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 电沉积镍薄膜 动力学蒙特卡罗 岛密度 岛尺寸 分形维数
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 数理?计算机科学
• 页码范围: 91-96
• 页数: 6页
• 分类号: TB383
• 字数: 3059字
• 语种: 中文

摘要

介绍了动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜生长的基本理论，对电沉积镍薄膜早期形核生长进行了模拟，发现镍薄膜的亚单层生长可以分为四个阶段，随着基底温度的上升，岛的密度减少，岛的尺寸增大，岛的分形维数增大；随着沉积率的上升，岛的密度上升，岛的尺寸减小，岛的分形维数减小；随着覆盖率的增加，岛的尺寸增大，分形维数不变。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄跃宇	南华大学数理学院	2	4	1.0	2.0