基于跨阻放大器的动态微弱电容检测电路

• 作者: 何常德 张文栋 穆林枫 薛晨阳
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CMUT 跨阻放大器 检测电路 杂散电容 灵敏度
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TN707
• 字数: 1698字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2015.01.006

摘要

基于 MEMS 技术的微电容超声传感器(CMUT),因具有易制造、易阵列化、噪声低、稳定性好以及批量化生产等众多优点,成为未来高频超声传感器发展的主要方向.本文介绍了微电容超声传感器的工作原理,提出了跨阻放大器检测电路,它能将电容信号转换为相应的电压信号(C/V 转换),再通过放大、滤波得出电容的变化量.该电路能很好地抑制杂散电容的影响,有很好的线性和稳定性,在400 kHz 的超声波作用下的灵敏度为1.64 mV/fF,基本满足对超声传感器电容变化量的检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
5	薛晨阳	中北大学电子测试国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
6	何常德	中北大学电子测试国家重点实验室	27	99	6.0	9.0
10	穆林枫	中北大学电子测试国家重点实验室	2	13	2.0	2.0