微小器件热特性测量新方法

• 作者: 周围 杨小兵 盖兆宇 郭潇菲
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微小器件 热特性 反射率热成像 红外热成像
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术与理论研究
• 页码范围: 20-25
• 页数: 6页
• 分类号: TH811
• 字数: 2843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2015.01.004

摘要

微小器件热特性具有快速产生、不可逆、易损坏器件等性质，较难在瞬间捕捉到它变化的一些信息。为了研究微小器件热特性，本文引入了一种测试器件热性能的新方法———反射率热成像法，并对该种方法的成像原理、功能应用作了简单介绍。在实际测试小器件热特性过程中，应用反射率热成像系统与红外热像仪进行了对比测试，结果表明：反射率热成像系统空间分辨率更高，达到亚微米量级；时间分辨率更高，达到百纳秒级；对样品温度要求低，温度范围更大，不需要对样品加热；只需对新材料进行校准，无需对样品表面进行逐点校准。在要求高分辨率、超快速的微小尺寸热测试领域，反射率热成像仪有着很好的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭潇菲		2	7	1.0	2.0
2	盖兆宇		1	0	0.0	0.0
3	周围		1	0	0.0	0.0
4	杨小兵		2	12	1.0	2.0