基于工艺选择性的硅纳米线及其表面生物组装的可控批量制造技术及其在传感器的应用

• 作者: 李铁 王跃林 高安然 鲁娜
• 来源期刊: 中国科学（技术科学）
• 关键词: 硅纳米线 自上而下 可控组装 生物传感器
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 50-61
• 页数: 12页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N092014-00198

摘要

针对硅纳米线及其在生物、医学、环境、反恐应用中生物检测的制造需求,通过充分利用硅材料本身的特性,发展传统光刻、腐蚀工艺中的硅纳米线精细控制技术,研究硅纳米线传感界面上有序组装多种生物功能探针(包括蛋白质探针和基因探针)的制造方法,提出一致性良好的硅纳米线的自上而下批量制造方法及其表面生物识别和捕获性能的精确控制制造技术,为高灵敏度、高选择性的硅纳米线生物传感器件的制造及批量化奠定坚实的技术基础,并为基于硅纳米线及相关生物组装的跨尺度制造提供可借鉴的新原理和新方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	84	623	14.0	18.0
2	鲁娜	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	7	152	5.0	7.0
3	李铁	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	37	133	6.0	9.0
4	高安然	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	3	3	1.0	1.0