InP/InGaAsP脊波导的单模特性与偏振特性研究

• 作者: 刘俊 唐军 商成龙 张天恩 雷龙海
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: InP/InGaAsP脊波导 单模条件 偏振特性 模双折射系数 光电子器件
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 605-609
• 分类号: TN814
• 语种: 中文

摘要

以InP/InGaAsP脊形波导结构为研究对象,采用有限元算法(FEM),系统地仿真分析了在固定芯层厚度的情况下,不同脊高和脊宽条件下脊形波导的单模特性和偏振特性.在芯层厚度一定的情况下,脊宽越窄,刻蚀深度越浅,波导的传输模式越接近单模.在深刻蚀情况下,脊波导模双折射系数受到脊宽的影响较大,波导的偏振不敏感性较差;在浅刻蚀情况下,模双折射系数(△n=nTE-nTM)受到脊宽和脊高的影响较为微弱,稳定在1.2×10-3.相关仿真和分析为基于InP/InGaAsP脊波导的光电子器件的结构设计提供了一定的理论支持.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室	64	114	5.0	9.0
3	商成龙	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室	2	4	1.0	2.0
4	张天恩	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室	4	4	1.0	2.0
5	雷龙海	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室电子测试技术重点实验室	2	4	1.0	2.0