压电式快速控制反射镜的迟滞特性及线性化

• 作者: 张小波 王代华 袁刚 陈敏
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 快速控制反射镜 压电陶瓷叠堆执行器 倾斜镜 迟滞 线性化
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1650-1656
• 页数: 7页
• 分类号: TN384|TH703
• 字数: 3025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152306.1650

摘要

针对压电式快速控制反射镜(Fast Steering Mirror,FSM)的迟滞问题,分析了压电式FSM的工作原理和迟滞特性,建立了基于Bouc-Wen算子的压电式FSM的数学模型及其参数辨识方法.通过Bouc-Wen算子模拟压电式FSM输出镜面偏转角度中的迟滞分量,并根据在两个相位相同的输入驱动电压信号下压电式FSM的输出镜面偏转角度曲线辨识Bouc-Wen算子的全部参数.在此基础上,提出了压电式FSM的前馈线性化方法.为了验证提出的数学模型和线性化方法的原理,建立了压电式FSM及其线性化控制器的快速原型系统和Bouc-Wen算子参数辨识实验装置.实验结果表明:本文提出的参数辨识方法能够准确辨识压电式FSM的Bouc-Wen算子参数,提出的前馈线性化方法能够将压电式FSM的输出镜面偏转角度与输入控制电压的线性度提高到2.3％,迟滞误差减小到±0.5％,满足实际应用对精确控制压电式FSM的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈敏	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	30	526	9.0	22.0
2	王代华	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	38	451	14.0	19.0
6	袁刚	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	16	111	7.0	9.0
10	张小波	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	5	33	3.0	5.0