RF MEMS并联开关的结构设计及分析

• 作者: 刘凤丽 许马会 郝永平
• 来源期刊: 四川理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS 并联开关 特性分析 吸合电压
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 机械、电子及计算机科学
• 页码范围: 63-67
• 页数: 5页
• 分类号: TM564.6
• 字数: 2660字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11863/j.suse.2015.06.13

摘要

针对传统的RF MEMS开关的开关速度慢、寿命短、功率处理能力低等缺点,设计了一种新的RF MEMS并联开关结构.这种结构不仅能提高开关速度和开关寿命,还能防止粘附和介质击穿问题.首先介绍了RF MEMS并联开关的结构设计,以及如何根据需要确定合理的尺寸;然后利用Coven-torWare软件对开关进行了静态特性分析和动态特性分析,重点分析了开关的吸合电压;最后利用Saber系统仿真法分析了改变开关的不同结构尺寸对吸合电压的影响.