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文献信息
篇名 Some Properties of Manganese Oxide (Mn-O) and Lithium Manganese Oxide (Li-Mn-O) Thin Films Prepared via Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Technique
来源期刊 材料科学与工程:中英文B版 学科 物理学
关键词 金属有机化学气相沉积 锂锰氧化物 薄膜沉积 MOCVD 制备 技术 性质 紫外可见光谱
年,卷(期) 2015,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 231-242
页数 12页 分类号 O472.3
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研究主题发展历程
节点文献
金属有机化学气相沉积
锂锰氧化物
薄膜沉积
MOCVD
制备
技术
性质
紫外可见光谱
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
材料科学与工程:中英文B版
双月刊
2161-6221
武汉洪山区卓刀泉北路金桥花园C座4楼
出版文献量(篇)
570
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