篇名 | Some Properties of Manganese Oxide (Mn-O) and Lithium Manganese Oxide (Li-Mn-O) Thin Films Prepared via Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) Technique | ||
来源期刊 | 材料科学与工程:中英文B版 | 学科 | 物理学 |
关键词 | 金属有机化学气相沉积 锂锰氧化物 薄膜沉积 MOCVD 制备 技术 性质 紫外可见光谱 | ||
年,卷(期) | 2015,(5) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 231-242 | |
页数 | 12页 | 分类号 | O472.3 |
字数 | 语种 | ||
DOI |