三维电子束云纹法

• 作者: 刘战伟 李传崴 温辉辉 花韬 谢惠民
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 三维电子束云纹法 三维形貌 立体成像技术 面内变形
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 407-413
• 分类号: O343.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.7520/1001-4888-14-200

摘要

三维电子束(3D电子束)云纹法是一种微尺度三维变形测量方法.该方法通过在试件表面制作高密度光栅,结合双目视觉立体成像技术,在SEM中形成两个角度的电子束云纹图,即可分析获得三维变形信息.考虑到离面变形与面内变形计算时的相互耦合关系,本文对现有的3D电子束云纹法进行了进一步发展,系统推导了3D电子束云纹法的通用理论公式.利用变形前后不同角度拍摄的电子束云纹图,可分别迭代计算出面内变形、离面变形和形貌等信息.对全息光栅鼓泡变形的验证实验证明了本文发展的3D电子束云纹法理论的正确性..

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘战伟	北京理工大学宇航学院力学系	9	23	3.0	4.0
2	谢惠民	清华大学航天航空学院力学系	59	1120	14.0	32.0
3	温辉辉	北京理工大学宇航学院力学系	1	1	1.0	1.0
4	花韬		1	1	1.0	1.0
5	李传崴	清华大学航天航空学院力学系	1	1	1.0	1.0