固体介质间隔层激光标准具性能的影响因素研究

• 作者: 刘丹丹 刘华松 姜玉刚 季一勤 王利栓 陈德应
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: F-P标准具 薄膜 中心波长 带宽 发散角
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 激光技术与应用
• 页码范围: 74-83
• 页数: 10页
• 分类号: O484
• 字数: 4165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20150801.0074

摘要

针对固体介质间隔层的镀膜标准具，以1064 nm激光镀膜标准具为例，首先研究了反射膜堆数对反射带宽、基底厚度以及对自由光谱区的影响：标准具的带宽随着膜层堆数增加而减小，自由光谱区随着基板厚度的增加而减小；其次研究了基底误差对标准具中心波长定位和透过率的影响，通过定量数值计算证明了基底误差可通过标准具的使用角度补偿；针对典型的H（ LH） m／Substrate／（ HL） m H和L（ LH） m／Substrate／（ HL） m L两个膜系结构，研究了入射激光发散角对标准具中心波长偏移、通带半宽度、中心波长透过率和最大透过率的影响。随着激光发散角的增加，中心波长向短波方向移动，通带半宽度、中心波长透过率和最大透过率呈现下降的趋势，并且第二个膜系结构的标准具性能优于第一个膜系结构的标准具。