微小型质谱仪的新型MEMS离子阱研究

• 作者: 李铁 肖军徽 黄刚
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 化学
• 关键词: 离子阱 MEMS 质谱仪 小型化
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 41-45
• 分类号: O657.63
• 语种: 中文

摘要

微小型离子阱质谱仪凭借其优异的分辨率、准确度以及灵敏度在危险检测、环境以及食品安全检测、临床研究等方面有着广泛的应用.针对国际上MEMS小型离子阱制备存在对准难度高、端盖表面翘曲等的问题,提出了一种采用三层硅片键合的圆柱形离子阱的制备方法,将分离制备的端盖电极与端盖电极进行键合,以降低制备难度和对准精度要求,解决翘曲问题,同时提升器件结构尺寸的可操纵性,对制备过程中的金-金键合工艺进行优化,为未来微小型化质谱仪的应用奠定了良好的基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄刚		10	24	3.0	4.0
2	李铁	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	37	133	6.0	9.0
3	肖军徽	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	1	0	0.0	0.0