MEMS质谱仪研究综述

• 作者: 唐飞 王晓浩 陈一
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 质谱仪 离子源 质量分析器 离子检测器
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 综述与评论
• 页码范围: 35-39
• 分类号: TH843
• 语种: 中文

摘要

近年来,小体积、低功耗、价格低廉、使用方便的MEMS质谱仪成为了质谱领域的研究重点和热点。目前国外对MEMS质谱仪及其相关技术的研究已取得了一些成果,甚至研发出了较为完整MEMS质谱仪。但是整体而言,MEMS质谱仪的性能还很低,其研究主要还处于对其元件分别进行微型化的阶段。其中,MEMS离子源以对电喷雾离子源的研究为主;MEMS质量分析器以对离子阱的研究为主;MEMS离子检测器以对法拉第筒的研究为主。本文总结了MEMS质谱仪的最新成果,同时分析了可能面临的问题。