激光辐照下硅材料温度分布研究

• 作者: 赵万利 韩微微
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光加工 硅材料 热效应 温度场分布
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 光电器件与材料
• 页码范围: 8-10,38
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 字数: 2262字
• 语种: 中文

摘要

激光加工硅材料过程中产生的热效应现象对产品良率有不良影响。为了降低热效应现象的影响，对激光辐照硅材料表面时硅材料的温度升高与分布情况进行了研究。使用光纤连续激光器作为光源辐照硅材料表面，记录了硅材料在不同激光功率密度和照射时间情况下的温度升高与分布情况，得到了实验数据。并根据实验条件和参数进行了仿真建模和模拟计算，得到了激光辐照下硅材料温度分布模型，该模型仿真数据与实验结果基本吻合，可通过修改该模型参数进行激光加工进行模拟实验，为激光加工时的参数选择提供了实验依据。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩微微	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	17	3.0	4.0