应用于大面积光刻的激光图案检测系统

• 作者: 侯煜 王作斌 翁占坤 胡贞
• 来源期刊: 中国科技论文
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉光刻 压电陶瓷控制 CMOS 实时检测
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 页码范围: 948-951,956
• 页数: 5页
• 分类号: TN393
• 字数: 3560字
• 语种: 中文

摘要

基于激光干涉光刻的基本原理，设计了新型的可应用于大面积光刻的激光图案检测系统，并阐述了利用电荷耦合元件对光刻图案的 CMOS 实时检测及实现大面积光刻的方法。实验结果表明，使用激光干涉光刻技术可以产生大面积的亚微米级周期性图案。该方法提供了得到高分辨、无限焦深、大面积光刻的可能性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡贞	长春理工大学电子信息工程学院	24	74	4.0	8.0
5	侯煜	长春理工大学电子信息工程学院	1	0	0.0	0.0
9	王作斌	长春理工大学电子信息工程学院	15	3	1.0	1.0