面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻

• 作者: 兰红波 刘明杨 许权 郭良乐
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 复合微纳米压印光刻 大面积纳米压印 复合软模具 非平整衬底 大面积微结构
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1516-1527
• 页数: 12页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20192707.1516

摘要

为了解决在大尺寸非平整刚性衬底和易碎衬底上高效低成本批量化制造大面积微纳结构这一难题,提出一种面向大面积微结构批量化制造的复合微纳压印光刻工艺.阐述了复合压印光刻的基本原理和工艺流程,通过实验揭示了主要工艺参数(覆模速度、压印力、压印速度、固化时间)对于压印结构的影响及规律.最后,利用课题组自主研发的复合压印光刻机,并结合优化的工艺参数,在3种不同的硬质基材(玻璃、PMMA、蓝宝石)上实现了微尺度柱状结构(最大图形区域为132 mm×119 mm)、微尺度光栅结构(最大直径为15.24 cm的圆形区域)和纳尺度柱状结构(图形区域为47 mm×47 mm)的大面积微纳结构制造.研究结果表明,提出的复合微纳米压印工艺为大面积微纳结构宏量可控制备、以及大尺寸非平整刚性衬底/易碎衬底大面积图形化提供了一种全新的解决方案,具有广阔的工业化应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	兰红波	青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心	15	49	4.0	6.0
2	刘明杨	青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心	2	1	1.0	1.0
3	郭良乐	青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心	2	6	1.0	2.0
4	许权	青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心	5	11	2.0	3.0