含N-苯基马来酰亚胺甲基丙烯酸酯共聚物的合成及其在负性光致抗蚀剂中的应用

• 作者: 刘敬成 刘晓亚 孙小侠 林立成 穆启道 郑祥飞
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 关键词: N-苯基马来酰亚胺 甲基丙烯酸酯共聚物 光致抗蚀剂 分辨率
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 230-237
• 页数: 8页
• 字数: 3629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2015.03.230

摘要

以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸甲酯(MMA)、N-苯基马来酰亚胺(N-PMI)、甲基丙烯酸环己基酯(CHMA)为反应单体,通过自由基共聚合成了一系列共聚物PMMNC,然后与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应制备了甲基丙烯酸酯共聚物G-PMMNC.利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、差示扫描量热(DSC)等表征了共聚物的结构与性能.随着N-PMI含量的升高,共聚物的分子量增大,玻璃化转变温度升高;以G-PMMNC为基体树脂制备了光致抗蚀剂,考察了光致抗蚀剂的耐酸性和分辨率,研究结果表明,该光致抗蚀剂的耐酸性良好,分辨率为40 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓亚	江南大学化学与材料工程学院	275	2088	22.0	30.0
2	刘敬成	江南大学化学与材料工程学院	39	169	6.0	10.0
3	穆启道		8	17	3.0	4.0
4	郑祥飞	江南大学化学与材料工程学院	7	12	2.0	3.0
5	林立成	江南大学化学与材料工程学院	2	4	1.0	2.0
6	孙小侠		2	4	1.0	2.0