RAFT聚合法合成甲基丙烯酸酯共聚物及其在负性光致抗蚀剂中的应用

• 作者: 刘仁 刘敬成 刘晓亚 徐文佳 林立成 穆启道
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 关键词: 可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT) 甲基丙烯酸酯共聚物 光致抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 应用与发展
• 页码范围: 371-379
• 页数: 9页
• 字数: 3993字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7517/j.issn.1674-0475.2016.04.371

摘要

以甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和丙烯酸正丁酯(BA)为共聚单体,偶氮二异丁腈(AIBN)为引发剂,2-(十二烷基三硫代碳酸酯基)-2-甲基丙酸(DMP)为链转移试剂,采用可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)制备了甲基丙烯酸酯共聚物(PMBBH).利用傅立叶红外光谱(FT-IR)、核磁共振氢谱(1HNMR)和凝胶渗透色谱(GPC)对共聚物的结构进行了表征.以共聚物PMBBH为基体树脂制备了负性光致抗蚀剂,考察了PMBBH的分子量对光致抗蚀剂分辨率的影响.结果表明,以数均分子量为5.45×103g/mol,重均分子量为7.79×103 g/mol的PMBBH-2作为基体树脂时,该光致抗蚀剂得到的图像轮廓清晰,图形分辨率可达50μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓亚	江南大学化学与材料工程学院	275	2088	22.0	30.0
2	刘仁	江南大学化学与材料工程学院	76	286	8.0	12.0
3	刘敬成	江南大学化学与材料工程学院	39	169	6.0	10.0
4	穆启道		8	17	3.0	4.0
5	林立成	江南大学化学与材料工程学院	2	4	1.0	2.0
6	徐文佳	江南大学化学与材料工程学院	3	4	1.0	2.0