准分子激光器温度控制系统设计

• 作者: 冯泽斌 周维虎 周翊 白路军 胡明庆 韩晓泉
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 温度控制 智能PID 准分子激光器 算法
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 431-437
• 分类号: TP23
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2015.04.008

摘要

设计了一种应用于准分子激光器的高精度温度控制系统,可对准分子激光器放电腔的温度进行实时采集、显示、控制,达到维持激光器腔体温度恒定的目的,从而改善激光器的工作性能如能量稳定性和使用寿命等.系统采用飞思卡尔单片机,以比例阀作为控温执行器件,并且设计了软硬件和优化的控制算法.实验结果表明:在三种不同PID控制方式下,系统控制精度皆能达到±0.2℃;在改进的智能PID控制下,系统超调变小、调节时间减少;在100 Hz和500 Hz不同重频条件下,系统采用智能PID控制时,运行稳定.因此,本系统可为激光器的运行提供良好的温度控制环境.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周维虎	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	69	454	12.0	18.0
3	韩晓泉	中国科学院光电研究院	12	73	6.0	8.0
4	周翊	中国科学院光电研究院	19	49	4.0	6.0
7	白路军	中国科学院光电研究院	2	7	1.0	2.0
8	冯泽斌	中国科学院光电研究院	3	18	2.0	3.0
9	胡明庆	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	1	7	1.0	1.0