基于Smith预估补偿的准分子激光器温度控制系统研究

• 作者: 冯泽斌 朱成林 胡明庆 韩晓泉
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 温度控制 Smith预估补偿 准分子激光器
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 533-538
• 页数: 6页
• 分类号: TN248|TP273
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2018.05.004

摘要

针对准分子激光器温度控制系统的大时间滞后特点,利用MATLAB对准分子激光器温度控制系统进行模型辨识,设计了一种新型Smith-PID预估复合控制器.在此基础上分别对两种控制器进行仿真和实验.结果表明与常规PID控制器相比,Smith-PID预估复合控制器超调量减少41％,调节时间减少51％.所设计控制器具有稳健性强、超调量小及调节时间短等优点,可为准分子激光器的运行提供良好的温度控制环境.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩晓泉	中国科学院光电研究院光电工程部	12	73	6.0	8.0
5	朱成林	中国科学院光电研究院光电工程部	1	2	1.0	1.0
14	冯泽斌	中国科学院光电研究院光电工程部	3	18	2.0	3.0
18	胡明庆		1	2	1.0	1.0