宽带增透膜工艺的优化与性能分析

• 作者: 孔伟金 季淑英 张敏 张蒙蒙 李娜 王增智
• 来源期刊: 青岛大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 宽带增透膜 离子辅助 真空蒸发镀膜
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 物理,化学与生物
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1037.2015.02.11

摘要

为满足望远镜等光学系统中光学元件可见光范围宽光谱增透的要求,根据Tfcale软件优化设计膜系,使用离子辅助沉积,晶振膜厚控制仪,电子束热蒸发镀膜方法,通过对镀膜工艺参数的不断改进和调整,制备了400～700nm的宽带增透膜.结果表明:所制作的可见光增透膜平均反射率达到0.36％,优于望远镜等光学系统的增透要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张敏	青岛大学物理科学学院	90	346	10.0	16.0
2	李娜	青岛大学物理科学学院	187	780	13.0	21.0
3	孔伟金	青岛大学物理科学学院	34	112	7.0	9.0
4	季淑英	青岛大学物理科学学院	8	4	1.0	2.0
5	张蒙蒙	青岛大学物理科学学院	6	22	2.0	4.0
6	王增智	青岛大学物理科学学院	3	0	0.0	0.0