0.6～1.55μm可见/近红外超宽带增透膜的研制

• 作者: 付秀华 杨永亮 杨道奇 潘永刚 耿似玉
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 宽带增透膜 电子束蒸发 离子束辅助沉积
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 270-276
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3456字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2012.03.012

摘要

针对可见/近红外宽谱段光谱仪探测器窗口的使用要求,选择TiO2、M1和SiO2分别作为高、中、低折射率镀膜材料,通过不同方案对膜系进行了优化设计和比较。采用电子束蒸发兼离子束辅助沉积技术,通过不断调整工艺参数,得到了光学性能优良、制备重复性好、牢固度强且致密的可见近红外宽带增透膜。该增透膜在（650±10）nm、900～1 100 nm和（1470±10）nm三波段内平均透过率≥99%,在620～1 550 nm宽波段内整体平均透射率≥97%,满足了光谱仪探测器窗口的实际使用要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	杨道奇	长春理工大学光电工程学院	4	25	2.0	4.0
3	杨永亮	长春理工大学光电工程学院	9	46	4.0	6.0
4	潘永刚	长春理工大学光电工程学院	15	71	4.0	8.0
5	耿似玉	长春理工大学光电工程学院	2	16	1.0	2.0