可见近红外双波段增透膜的设计及制备

• 作者: 刘桂林 孙亚军 朱华新 李帅 李果华 郭颖
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 页码范围: 1769-1773,1787
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 2886字
• 语种: 中文

摘要

以K9为基底设计了一种覆盖部分可见及近红外双波段的增透膜,即:增透波长包括0.55 ～0.78μm和1.0～1.3 μm两个波段.工艺实现采用了电子束蒸发物理气相沉积的方法,薄膜材料仅含有TiO2和SiO2,并分别作为高低折射率材料.利用岛津分光光度计对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明0.55 ～0.78μm波段平均透过率为98.01％,1.0～1.3μm波段平均透过率达到97.04％.通过SEM的膜层截面证实实际膜层厚度相对于设计值来说偏厚,致使透射率光谱曲线略往长波方向漂移,但所需波段内平均透过率仍可满足所需光学特性.环境测试表明:薄膜具有良好的稳定性和牢固度.该增透膜可以应用于可靠性要求较高的环境中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李果华	江南大学理学院	30	122	6.0	10.0
2	郭颖	江南大学理学院	20	69	5.0	7.0
3	朱华新	江南大学理学院	30	52	5.0	5.0
4	刘桂林	江南大学理学院	22	41	4.0	5.0
5	李帅	江南大学理学院	22	46	4.0	5.0
6	孙亚军	江南大学理学院	7	12	3.0	3.0