电容法微力测量中轴偏对电容梯度的影响

• 作者: 张国强 蔡雪 赵美蓉
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 圆柱形电容传感器 微小力值 电容梯度 轴偏 机器视觉
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 14-20
• 页数: 7页
• 分类号: TH823
• 字数: 3842字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.2015.01.002

摘要

电容法微小力值测量中电容传感器会存在轴偏现象,影响测量精度.基于理论模型,分析计算了电容传感器在轴偏情况下的电容梯度.设计了合理的测量方案,通过高精度图像传感器及机器视觉算法,实现了轴偏及电容梯度测量,对轴偏与电容梯度之间理论数值关系进行了实验验证.实验证明了理论推导的正确性及测量方案的可性行,为后续的微力精密测量提供了误差补偿依据.在当前的电容传感器条件下,轴偏不大于50 μm时,可满足误差1％以内的系统整体测量目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵美蓉	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	97	969	15.0	26.0
2	张国强	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	6	26	3.0	5.0
3	蔡雪	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	17	2.0	2.0