激光对毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源的作用

• 作者: 张兴强 靳龙
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光光学 极紫外光源 毛细管放电 三束等离子体 激光等离子体
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 激光器与激光光学
• 页码范围: 58-64
• 页数: 7页
• 分类号: TN249|O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0602009

摘要

极紫外光刻技术(EUVL)利用波长为13.5 nm的极紫外(EUV)光源,可以轻松突破30 nm技术节点而实现大规模工业生产.毛细管放电直接将电能转换成等离子体的极紫外辐射能,具有较高的能量转换效率.毛细管放电三束等离子体极紫外耦合光源利用激光等离子体(LPP)的热膨胀力与三束等离子体所受的洛仑兹力相互作用,耦合出较大面积的极紫外辐射区,从而在满足用光要求的前提下大幅度地降低毛细管放电的重复频率,有利于光刻生产.在实现三对电极同时放电以及放电与激光同步触发的基础上,探讨了激光对耦合光源所起的作用.实验发现位置耦合对极紫外光源的影响很小,激光等离子体引起的动力耦合成为问题的关键,有待于逐步解决.