硫化锌基底硬质红外保护薄膜技术研究

• 作者: 何光宗 张天行 李钱陶 熊长新
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 硫化锌 类金刚石膜 硬度 过渡层
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 50-53
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

硫化锌在3～5μm和7.7～9.3μm两个波段具有较高透过率,但其脆性大、耐摩擦性能较差,在其表面镀制类金刚石膜保护膜可显著提高其使用性能.直接在硫化锌基底沉积类金刚石膜难以实现,采用匹配层与过渡层的设计思想,制备出类金刚石膜与硫化锌基底之间相互牢固结合的过渡层.通过等离子体化学气相增强法在过渡层上成功制备类金刚石膜.研究了射频功率、气压等对保护膜系力学性能的影响.结果表明,镀制了硬质保护薄膜的硫化锌窗口在3～5μm和7.7～9.3 μm双波段的平均透过率均高于90％,膜层硬度为硫化锌窗口近5倍.经环境试验之后,膜层光学性能与机械性能均无变化.