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溶液法制备的高k Y2O3薄膜电学性质分析
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文献信息
| 篇名 | 溶液法制备的高k Y2O3薄膜电学性质分析 | ||
| 来源期刊 | 青岛大学学报（自然科学版） | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | Y2O3 溶液法 高介电常数 薄膜 | ||
| 年，卷（期） | 2015,（1） | 所属期刊栏目 | 研究快报 |
| 研究方向 | 页码范围 | 7-9 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | O484.4 |
| 字数 | 1220字 | 语种 | 中文 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1006-1037.2015.02.03 | ||
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Y2O3
溶液法
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薄膜
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期刊影响力
青岛大学学报(自然科学版)
主办单位：
青岛大学
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-1037
CN：
37-1245/N
开本：
16开
出版地：
青岛市宁夏路308号
邮发代号：
创刊时间：
1988
语种：
chi
出版文献量（篇）
1805
总下载数（次）
12
总被引数（次）
6176
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