Er2O3薄膜的电学性质研究

• 作者: 徐润 方泽波 朱燕艳 樊永良 蒋最敏 薛菲 陈圣
• 来源期刊: 江西科学
• 关键词: Er2O3 高κ C-V I-V
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 理论探讨
• 页码范围: 499-501,510
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3679.2005.05.001

摘要

Er2O3是一种很有希望的高κ材料.在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火.通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋最敏	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	24	93	5.0	9.0
2	方泽波	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	4	12	2.0	3.0
3	朱燕艳	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	4	12	2.0	3.0
4	陈圣	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	4	12	2.0	3.0
5	徐润	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
6	薛菲	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	4	4	1.0	1.0
7	樊永良	复旦大学应用表面物理国家重点实验室	8	15	3.0	3.0