高于室温环境的热式气体微流量传感器性能分析?

• 作者: 李伟 李杰超 闫卫平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热式气体微流量传感器 Pt薄膜电阻 流量检测系统 高于室温环境
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 160-164
• 页数: 5页
• 分类号: TB937
• 字数: 2033字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.02.002

摘要

为了探索平板微热管的传热特性，了解微热管内不同温度区间的蒸汽传输特性，开展了热式气体微流量传感器及其检测系统的设计。设计了一种便于探索最佳温度测量点的热式微流量传感器结构，利用MEMS工艺进行加工制作，在不同环境温度下对其性能进行了测试，得到了环境温度与热式微流量传感器性能的关系。基于MSP430单片机和C＃语言自主开发了流量传感器检测系统，可对一定范围内的流量进行实时检测，并实时绘制流速随时间的变化曲线。研究表明，采用本文设计的热式微流量传感器结构，可以检测高于室温环境下的微流量气体，并可通过提高加热器温度或改变测温电阻对的测量位置来提高测量灵敏度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李伟	大连理工大学电子科学与技术学院	50	296	9.0	15.0
2	闫卫平	大连理工大学电子科学与技术学院	57	328	9.0	14.0
3	李杰超	大连理工大学电子科学与技术学院	7	28	3.0	5.0