一种基于PDMS的新型可调光栅

• 作者: 刘俊 唐军 康宁 杨江涛 郭浩 陈萌
• 来源期刊: 塑性工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧等离子体 可调光栅 周期 光栅常数
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 183-187
• 分类号: TH706
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2012.2015.04.033

摘要

传统方法制作可调光栅,工艺条件苛刻,制作过程复杂且难以控制,制作成本高,周期较长,因此提出一种制作光栅的新方法.通过氧等离子体(PLASMA)方法,制作出微米尺度的光栅结构.利用PLASMA时间的可控性和聚二甲基硅氧烷(PDMS)优异的弹性,通过调控PLASMA的时间和PDMS的拉伸程度,制得所需尺寸的光栅.将制得的光栅薄膜沿着光栅栅线的方向拉伸,随着栅线的伸长,光栅常数随之减小,即可对光栅周期进行连续、任意调谐,并获得预定的目标周期.实验结果表明,制作的光栅调谐范围可达40％,并且调谐过程中光栅金属保持完整,衍射角变化显著,理论值与实验值基本一致,达到预期实验目的.该制作可调光栅的方法成本低,周期短,工艺过程简单易控制,可广泛应用于微型光谱仪、扫描仪及光通信等领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	唐军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	64	114	5.0	9.0
3	郭浩	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	11	5	1.0	1.0
4	杨江涛	中北大学电子测试技术国家重点实验室	27	121	6.0	10.0
5	陈萌	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0
6	康宁	中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	1	1.0	1.0