具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构

• 作者: 东立剑 于新峰 彭海峰 赵磊
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻投影物镜 透镜支撑结构 自重变形 热变形
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 2303字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2015.10.008

摘要

光刻投影物镜中透镜的面形精度是影响光学系统成像质量的关键因素之一.为满足透镜面形精度 RMS 值优于1~2 nm的指标要求,本文提出了一种具有整体径向挠性的透镜多点均匀支撑结构,基于自重变形和热变形对支撑块尺寸进行了优化设计,分析了透镜在优化后的支撑结构下由自重和热载荷引入的面形变化情况,结果表明:自重引起的透镜上表面面形去除power项后RMS为0.429 nm,下表面面形去除power项后RMS为0.294 nm;热载荷引起的透镜上表面面形RMS为0.409 nm,下表面面形RMS为0.063 nm,能够满足光刻投影物镜中透镜的高精度面形要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵磊	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	37	438	12.0	20.0
2	东立剑	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	8	20	3.0	4.0
3	彭海峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	5	31	4.0	5.0
4	于新峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	23	4.0	4.0