近太赫兹频段线性注真空器件的研究

• 作者: 冯进军 唐烨 李含雁 李莉莉 杜英华 潘攀 胡银富 蔡军
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 行波管 返波管 微机电系统技术 金刚石
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 684-690,706
• 页数: 8页
• 分类号: TN752
• 字数: 4151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201505.0684

摘要

介绍了太赫兹频段真空电子器件的研究和开发进展,包括慢波结构理论、设计、模拟及优化,微加工和微组装技术,整管技术等.这些器件包括行波管、返波管、斜注管、止带振荡器及行波管谐波放大器等,高频结构以折叠波导慢波结构为主,在太赫兹返波管中则利用叶片加载波导慢波结构.器件技术包括微机电系统(MEMS)技术,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石生长、金属化和封接技术等.最后给出W波段、G波段以及340 GHz部件和器件所达到的性能.