哈特曼波前分析仪校准方法研究

• 作者: 王艳萍 王茜蒨 马冲
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 校准方法 波前测量 自适应光学 波前传感器 哈特曼探测器 哈特曼波前分析仪校准
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 239-245
• 页数: 7页
• 分类号: TN247
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0108003

摘要

在介绍哈特曼波前分析仪工作原理的基础上,分析了哈特曼探测器微孔阵列面与CCD面间距LH参数校准的必要性,提出并讨论了用已知斜率的平面波校准LH参数,并将平面波斜率值精确溯源至点光源位移量的校准方法.依据此校准方法,实际校准了一台哈特曼波前分析仪,给出了LH参数的校准值.用校准过的哈特曼波前分析仪测量了三种不同曲率半径的球面波前,与软件构造的相同曲率半径的理想球面波前作比较,波前测量精度达λ/35,波前像差PV值达λ/7.该实验结果表明,哈特曼波前分析仪校准结果是准确的,校准方法是有效可行的.